オリンパス、製造工程で部品の形状測定を効率的に行える測定顕微鏡を発表

オリンパスは10月28日、製造工程における加工部品や半導体部品、電子部品の形状測定を効率的に行える測定顕微鏡「STM7」を発表した。11月4日より発売する。

同製品は、検査・測定対象物を載せるステージを、従来の250mm×150mmから300mm×300mmの大型で正方形のタイプに変更した。これにより、半導体の300mmウェハやプリント基板などの大型の対象物(サンプル)も向きを変えずに測定することができるのに加え、小型のサンプルは複数同時にステージに置けるので、効率的な測定が可能となっている。

また、測定顕微鏡は、1/1万mmの精度で部品の大きさや組み立て具合などを測定するため、安定性と耐震性が求められる。そこで、本体台座に高剛性、高耐震性の石定盤(花崗岩)を採用することで、より安定した高精度な測定を実現した。

さらに、測定支援ソフトウェア「STM7-BSW」と同社の顕微鏡用デジタルカメラを併用することで、簡単な操作で、より複雑な形状の部品でも正確に測定が行えるという。測定結果は、「Microsoft Excel」に出力可能で、効率的にレポートが作成できるとしている。