浜ホト、MEMS製造技術による超小型次世代光電子増倍管マイクロPMTを開発

浜松ホトニクス(浜ホト)は10月17日、MEMS製造技術により量産対応が可能で、小型な次世代光電子増倍管マイクロ光電子増倍管(PMT)を開発し、機器に組み込み易い電圧分割回路を内蔵したマイクロPMTアッセンブリ「H12400-01-01」と、小型高圧電源を内蔵したマイクロPMTモジュール「H12402/H12403」シリーズを発表した。 同製品では、300～850nmまでの広い波長域で、近赤外域に感度を広げたマルチアルカリ光電面のPMTに、電圧分割(デバイダ)回路を内蔵したアッセンブリと、新設計の駆動用小型高圧電源を内蔵し、従来品に比べ約1/3の容積にしたモジュールがラインナップされている。モジュールには、機器設計の自由度を考慮して、奥行きが薄いタイプ「H12402」シリーズと幅が狭いタイプ「H12403」シリーズがある。アッセンブリは、駆動用高圧電源を接続することで動作し、検出部を極力小さくして機器に組み込みやすくしている。モジュールは、+5Vの低圧電源を接続することで動作するので、PMTの扱いに慣れていないユーザーなどにも使い易くなっている。 マルチアルカリ光電面マイクロPMTの主な仕様は、有効面1mm×3mm、量子効率20%(最高感度波長420nm)