SCREEN、立体構造を持つ電子デバイスに対応するレジスト塗布装置を発表

SCREENホールディングスのグループ会社であるSCREENセミコンダクターソリューションズは10月6日、MEMSを中心とした立体構造を持つ電子デバイスなどに対応するレジスト塗布装置「80EX スプレーコータ」を発表した。

近年、MEMSなどの省電力、高性能、超小型化に対応した電子デバイスは、スマートフォンやウェアラブル端末、医療関連機器などへの搭載が進んでおり、需要が拡大している。しかし、これらの製造には、より複雑で立体的な基板構造が必要となるため、レジストなどの塗布工程において、従来のスピンコート方式では立体の段差部で膜切れが発生することなどが課題となっていた。

そこで今回、立体構造を持つ電子デバイスに対応した「80EX スプレーコータ」を開発した。同装置は、レジストや保護膜の塗布にスプレーコート方式を採用することで、従来方式では困難だった段差部への均一性の高い塗布を可能にした。また、塗布現像装置として実績のある「80EX」の高速搬送システムや複数処理ユニットの採用によって、高い生産性を実現するとともに、薄型ウェハや表裏両面への塗布に対応するなど、実用性の高い装置となっている。

なお、すでに販売を開始している。