ディスコ、150mmウェハ対応のコンパクトセミオートダイシングソーを開発

ディスコは11月10日、150mmウェハに対応したセミオートダイシングソー「DAD323」を開発したと発表した。

同製品は横幅490mmながら、軸速度の改善によりスループットの向上を実現しており、例えばX軸最高戻り速度は従来機「DAD322」と比べ1.4倍となる700mm/sを達成しているとする。

また、高トルクの2.0kWスピンドルを搭載しており、ガラスやセラミックスなど難削材加工にも対応可能なほか、オプションで高速回転1.8kWスピンドルも選択可能となっている。

さらに操作モニタは従来機の10.4型から15型に大型化。視認性の向上と情報量の増加を果たしている。

なお販売開始は2015年6月を予定しており、初年度200台の販売を見込むとしている。