浜ホト、シーケンサ接続対応膜厚計「Optical NanoGauge」の新製品を発売

浜松ホトニクスは、シーケンサ接続に対応し、小型化することで装置への組み込みを容易にした膜厚計「Optical NanoGauge(オプティカル・ナノゲージ)」新製品として「C13027」を4月1日から発売すると発表した。

同製品は、分光干渉法を用いた非接触の膜厚測定装置。同社従来品をアナログ出力対応にすることで、シーケンサへの接続を容易にした。また、装置内の分光器を小型化することで、設置面積を同社従来品「C12562」に比べ約30%削減。これにより、製造装置や検査装置にインラインモニタとして組み込みが容易になった。

今回の改良に伴い、入射する白色光の反射率から色計算をする色計測の機能も追加したため、膜厚測定と同時にフィルムやFPDの色むらの有無の確認が可能となり、品質管理に貢献する。また、解析アルゴリズムの見直しにより、同社従来品の2倍の最速200Hzまで高速測定が可能になり、タクトタイムを向上する。さらに、Optical NanoGaugeシリーズでは最も薄い10nmの極薄膜測定を可能にすると共に、10nmから100μmと幅広い範囲の膜厚測定に対応できる。

これにより、インラインでの高速・高精度な膜厚測定を長時間安定的に行うことが可能となる。