アルバックとBosch、MEMS用PZT圧電素子デバイスの共同開発で合意

アルバックとRobert Boschは4月8日、MEMS用PZT圧電素子デバイスの共同開発を行っていくことで基本合意に達したと発表した。

同合意に基づき、Boschは今後アルバックのスパッタリングシステム「SME-200」を用いて先端MEMSの開発を行っていくこととなる。

なおアルバックでは、MEMS技術の発展にともないPZTを圧電素子として用いたセンサやアクチュエータが開発、実用化されてきたが、薄膜形成やドライエッチングなどの半導体製造技術は今後、より高品質な圧電素子を作製するためにさらに重要な技術になると考えているとコメントしている。