ヨコオとWI、次世代型半導体電気特性評価システム「DdProber」を発表

ヨコオは7月13日、産業技術総合研究所発のベンチャー企業であるWafer Integaration(WI)と「次世代型半導体電気特性評価システム」事業で提携し、その第1弾としてコンパクトかつ操作性に優れたダイサイズ半導体電気特性評価装置「DdProber(仮称)」の販売を同月より開始すると発表した。同提携では、製品設計および開発・生産をWIが担当し、ヨコオがシステムの最適化、製品販売、技術サポートを担当する。

今回発表した「DdProber(機種名:WI-3000)」は、ダイサイズの半導体チップ上のトランジスタを測定評価する自己検知型AFM(原子間力顕微鏡)方式プローバー。従来のAFM方式では、レーザーを使った光てこにより微小変位を検出して原子間力を測定しており、操作に熟練と長時間が必要な光軸調整が必須であり、装置も大がかりなものとなっていた。

これに対し、同製品は原子力間力検出センサーであるピエゾ抵抗を内蔵するカンチレバーによって、針圧変化をカンチレバー自らが検出してAFM操作を行うことや、トランジスタに力制御をかけながら直接コンタクトを取ることができる。そのため、従来の光学系が不要となり、原子力間力検出機構をメンテナンスフリーとするナノレベルのプロービングによる電気特性評価システムを構築することが可能となる。これにより、同システムおよび制御装置のサイズをコンパクトに保つことが可能となった。

また、プロービングはPC制御でコントロールされ、トランジスタ測定などの電気測定は、半導体パラメトリックアナライザーでTEGによる通常の電気特性と同じ環境で行うことが可能。具体的には、22nmプロセスのトランジスタ特性を安定的に測定することができるとしている。

今後、WIは2017年の完成を目標に、半導体量産現場でも活用できるウエハ対応の「DdProber」の開発を進め、ヨコオは国内拠点の富岡工場に設定を進めている「DdProber評価センター」の運用を8月より開始し、顧客デバイス電気特性評価のデモンストレーションと、顧客向けシステムの最適化を開始する計画だ。