アルバック、厳しい環境下で長寿命/高精度を維持できる電離真空計を発表

アルバックは9月3日、単位面積あたりのイオン電流値を抑えることで、イオンコレクタへの負担を軽減し、かつイオン化する空間の電位が一様となる構造を採用した電離真空計「G-TRANシリーズ ST2」を発表した。

同製品は、独自の電極構造を採用することで、±10%の感度と精度を、同社従来製品比30倍以上の長寿命で提供することを実現したもの。また、小型のTriode型メタル管球を採用することで、取り付けスペースの削減と測定子破損のリスクを低減したという。

さらに、マルチイオンゲージ仕様のユニットとすることで、ピラニ真空計ユニットおよび大気圧センサとの連動が可能となっており、制御信号の削減をはかることができるほか、個別の測定子交換を可能としている。

なお、同製品は12万円(税別)から、となっており、販売は10月15日からを予定。同社では初年度500台、2017年度には5000台の販売を目指すとしている。