ギガフォトン、LPPのEUV光源で出力108Wを24時間安定発光させることに成功
これは同社の、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術などを進化させたこと、ならびにエネルギー制御技術の改善によって達成したものだという。
なお同社では今後、2015年末までに高出力検証機を稼働させ、メモリなどへの量産対応目安である光源出力250Wレベルの達成を目指すとしている。
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