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ニコン、重ね合わせ精度とスループットを向上させたArFスキ…
くらし情報『ニコン、重ね合わせ精度とスループットを向上させたArFスキャナを発表』
2014年12月1日 09:00
ニコン、重ね合わせ精度とスループットを向上させたArFスキャナを発表
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さらに、新モジュール構造であるModular2 Structureでは、階層的なモジュール化を実現することにより、ユーザー先での立ち上げ時間を短縮し、さらに部品交換も平易化した。これにより、メンテナンス性が大幅に向上したとしている。
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