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東工大、1G以下の高分解検知を実現する超小型加速度センサー…
くらし情報『東工大、1G以下の高分解検知を実現する超小型加速度センサーを開発』
2015年12月1日 10:16
東工大、1G以下の高分解検知を実現する超小型加速度センサーを開発
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MEMSとCMOS-LSIの集積化に半導体微細加工技術と電解金めっきを用いており、超小型・超高分解能加速度センサーの汎用化技術として期待できるという。
同研究グループは、超小型・超高分解能の小型加速度センサーの実現は医療・ヘルスケア、インフラ診断、移動体制御、ロボット応用などにおいて新しいデバイス・システム開発につながることが期待できるとしている。
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