マグネスケール、絶対位置を検出し自己校正できるレーザスケールを開発

このスケールは、絶対位置情報を取得するため、電源投入時にスケールと検出ヘッドをわずかに相対移動させることが必要だが、従来のように原点位置まで移動させる必要がなくなるとしている。

これにより、半導体製造装置や半導体検査装置の高精度化、および高速化への貢献が期待されるのに加え、工作機械においては、高い分解能と精度を持つ、校正用2次元スケールを提案できるとしている。

なお、価格は100×100mm～600×500mmサイズで、約150万円～1000万円。2015年4月からサンプル出荷を開始する予定。