東北大、アモルファス合金ナノワイヤを用いた磁気センサ素子を開発

東北大学は10月19日、ガスアトマイズ法を用いて、磁化されやすい軟磁性の特性をもつコバルト鉄系アモルファス合金(金属ガラス)から、直径がナノメートルスケールのナノワイヤを安価に生産し、これを用いてプロトタイプの磁気センサ素子を作製することに成功したと発表した。

同成果は、同大 原子分子材料科学高等研究機構の中山幸仁准教授らによるもの。同大 金属材料研究所の横山嘉彦准教授、東北学院大学の薮上信教授らと共同で行われた。詳細は、米国物理協会誌「Applied Physics Letters」に掲載された。

コバルト鉄系アモルファス合金は、優れた軟磁性特性を持つことが報告されている。これまでのコバルト鉄系アモルファス合金のワイヤ作製法では、直径は20～30μm程度が限界だったが、今回の研究では、独自のガスアトマイズ法を用いることにより、直径が100nm～3μm程度の長尺なワイヤの作製に成功した。さらに、作製したワイヤを、集束イオンビーム法を用いて電極上へ固定し、プロトタイプの磁気センサ素子を作製した。このデバイスを用いて、外部磁場を変化させながら、ワイヤのインピーダンスを計測したところ、外部磁場に応じてインピーダンスが変化することが分かった。