キーサイト、第4世代1/f雑音測定システムを発売 - 0.03Hzの超低周波に対応

キーサイト・テクノロジーは2月6日、1/f雑音測定システムの第4世代品「E4727A 1/fノイズ・RTN測定システム」を発売した。1/f雑音やランダムテレグラフ雑音(RTN:Random Telegraph Noise)などの、低い周波数で支配的になる雑音の大きさを測定するシステムである。

1/f雑音は、周波数(f)にほぼ反比例してエネルギー密度が増加する雑音を指す。電子機器や電子回路ユニット、半導体集積回路、半導体素子、抵抗器などはすべて、1/f雑音を発生する。そもそもは真空管の電流雑音として1/f雑音は見つかった。このため1/f雑音の歴史は非常に長い。最近では低雑音MOS FETやCMOSイメージセンサ、低雑音アンプ、パワーデバイスなどで問題となっている。

ランダムテレグラフ雑音(RTN)は主にMOS FETのチャンネル領域で発生する。半導体製造技術の微細化によって近年、注目を集めるようになった。電流が2つの値を行き来する、あるいはしきい電圧が2つの値を行き来するという、離散的な変動を伴う雑音である。

キーサイトは15年以上も前から、1/f雑音やRTNなどの低周波雑音を測定するシステムを開発、市販してきた。