村田製作所、世界初の表面実装型のMEMS角加速度センサを開発
同センサは加速度センサ、ジャイロセンサをはじめとする慣性センサの設計技術と、MEMSプロセス技術を融合することで実現したもので、世界最小サイズとなる5.2×2.5mm typ. ×0.8mm max.を達成した。また、1kHz以上の検知周波数帯域を保有し、加速度換算ノイズ実効値は1rad/s2rms以下となった。
なお、この表面実装型MEMS角加速度センサについては現在、国内外で10件以上の特許を申請中だという。
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