ヨコオとWI、次世代型半導体電気特性評価システム「DdProber」を発表

これにより、同システムおよび制御装置のサイズをコンパクトに保つことが可能となった。

また、プロービングはPC制御でコントロールされ、トランジスタ測定などの電気測定は、半導体パラメトリックアナライザーでTEGによる通常の電気特性と同じ環境で行うことが可能。具体的には、22nmプロセスのトランジスタ特性を安定的に測定することができるとしている。

今後、WIは2017年の完成を目標に、半導体量産現場でも活用できるウエハ対応の「DdProber」の開発を進め、ヨコオは国内拠点の富岡工場に設定を進めている「DdProber評価センター」の運用を8月より開始し、顧客デバイス電気特性評価のデモンストレーションと、顧客向けシステムの最適化を開始する計画だ。