くらし情報『Lam Research、高生産性を実現した成膜装置「VECTOR ALD Oxide」を発売』

2015年7月15日 17:50

Lam Research、高生産性を実現した成膜装置「VECTOR ALD Oxide」を発売

の使用量も削減できるとしている。

なお同社では、高度なマルチパターニングを採用するメーカー各社にてプロセス開発と量産の両方の用途で活用が進んでいるとするほか、シリコン貫通電極(through-silicon vias:TSV)やイメージセンサなどの高アスペクト比のライナなど、他のプロセスへの展開も始まっているとしている。

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