アルバック、ドライ真空ポンプ向け省電力化アタッチメントを発売

具体的な削減量については、例えば通常使用で3.2kW程度の消費電力であったものを1kW未満へと落とすことが可能とのことで、300Lのチャンバを60秒のタクトで繰り返し排気をした場合、何もつけない場合と比べて34%の電力削減になるという。また、シールガスが10L/minといった環境でも電力消費量を50%程度削減することが可能であり、第8.5世代の液晶工場1ラインあたりで200台程度取り付ける箇所があるとのことで、すべて取り付けた場合、年間で電力料金が9811万2000円の削減が見込めるとする。

なお同製品は、すでに販売を開始しており、価格は59万円(税別)から。初年度300台の販売を目指すとしている。