東北大ら、溌液るつぼで安価･高品質な直径200mm単結晶シリコンの製造に成功

今回、同研究グループは、磁場を作用させることなく、るつぼ内壁の表層シリコン融液をはじく特殊な処理を行った「溌液るつぼ」を用い、CZ法で溌液性が最も効果的に発現される結晶製造方法(LCZ法)を確立。これを用いて実用サイズの直径200mmの単結晶シリコンを製造することに成功した。同技術は磁場を用いることなく通常のCZ法でるつぼの溶解を抑止するので、より安価で高品質の単結晶シリコンを製造できるというメリットがある。

同研究グループは、LCZ法を用いることで、新規の投資をほとんどせずに石英るつぼと結晶成長条件を変更するだけで高品質の単結晶シリコンが得られるため、現在の標準型太陽電池の変換効率を向上できるとしており、今後は需要に応じて溌液るつぼの製造設備の拡充を行い、るつぼの低コスト化を図る予定であるという。