IoTやIndustrie 4.0を先取りする半導体製造現場 - 先進装置・プロセス制御(AEC/APC)シンポジウム2015

を収集・解析し、フィードフォワード、フィードバックを駆使して装置やプロセスの変動による製品のバラつきを制御する手法である。先端半導体工場で、プロセスや装置の安定化をはかって製品歩留まりを向上させ、品質や生産性を高め、トータル・コストの低減をはかるための自動化システムと言えよう。

これは、現在、世界中の産業界で注目されているIndustrial IoT(IIoT)やIndustrie 4.0の発想そのものであり、半導体工場では、他産業に先駆けてそれを具現化してきている。

○日本では5回目の開催だが米国での開催数は27

AEC/APC シンポジウムは、半導体メーカーと装置、材料、ソフトウェア、センサ、計測・分析機器メーカーが一堂に会し、プロセスや装置の自動診断や最適化を通して、インテリジェントで高効率な生産システムの構築を議論する場として、会議名称は若干異なるものの、毎年、世界3カ所(欧州・米国・アジア)で開催されている。アジアでは、2003年以来、台湾で毎年開催されている。日本では、2007年に熊本で初めて開催されたのを機に、隔年で開催されており、今回は日本で5回目の開催となる。

米国では、1989年に「Sematech AEC/APC Conference」