IoTやIndustrie 4.0を先取りする半導体製造現場 - 先進装置・プロセス制御(AEC/APC)シンポジウム2015

●いかにインテリジェントを持たせ高効率に半導体を生産するのか?

次世代半導体生産向け製造装置および製造プロセスの自動制御(Advoaced Equipment Control/Advanced Process Control)に関する国際シンポジウム「AEC/APC Symposium Asia 2015」が、「インダストリー4.0時代の境界なき交流の場」というテ―マの下、開催された(図1)。主催は、半導体製造のノウハウをサイエンスに高めてScientific Manufacturing(科学的製造)をめざす半導体製造国際シンポジウム(ISSM)実行組織体で、AEC/APCシンポジウムは、ISSMの姉妹会議の位置付けとなっている。後援は、電子情報技術協会(JEITA), 日本半導体装置協会(SEAJ)、国際半導体装置材料協会(SEMI)など。科学的な半導体製造で歩留まりや生産性を向上させるための核となるAEC/APCに関して、海外からの参加者も交えて活発な議論が行われた。

○先取りしてIndustrie 4.0を実現する半導体工場

AEC/APCというのは、半導体工場内の製造装置に温度、圧力、ガス流量、薬液組成、プラズマ密度、印加電圧・周波数、などさまざまな装置/プロセス・パラメータである多変量を計測する多種類のセンサを取り付けて、そこからの大量のデータ(いわゆるビッグデータ)