IoTやIndustrie 4.0を先取りする半導体製造現場 - 先進装置・プロセス制御(AEC/APC)シンポジウム2015

の名称で第1回が開催されて以来、毎年開催されており、今年は去る10月にテキサス州の州都オ―スチンで第27回目のAPC Conferenceが開催された。欧州では来年4月に「第16回 European Advanced Process Control & Manufacturing Conference (APC/M)」がドイツで開催される。

かつて日本が勘と経験と度胸(?)でDRAMの大量生産を行っていた頃から、米国ではAPCが議論され、「製造を科学する(manufactuirng science)」ことにより、ついに米国半導体産業が復権を果たすこととなった。この点で、米国はAPC分野で先行しており、欧米はITの活用でも一日の長がある。

○仮想計測や異常検出分類を中心に議論

今回は、口述発表13件、ポスター発表8件の合計21件の発表がおこなわれた。国別では、日本14件、米国3件、韓国2件、ドイツ1件、マレーシア1件。組織別では、熊本大学3件、東芝、ルネサス、Infineonグループ(ドイツ/マレーシア)、Samsungグループ(韓国/日本)、 Rudolph Technologies(米国)